SRW系列在线式真空镀膜设备

SRW系列在线式真空镀膜设备,采用磁控溅射技术,配置返回式流水线,可实现在线无人连续生产。

设备型号: SRW-560C

镀膜方法: 溅射镀膜

镀膜材料: AI, In, Zn, Si, Cr

镀膜效率: ≥450Å/min

等离子系统:中频/直流/射频

制冷剂充注设备

高真空排气设备

氦检设备